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电子特气合成提纯作业规程

1.总则

1.1目的与适用范围

本规程旨在规范电子特种气体（以下简称“电子特气”）在合成与提纯过程中的作业行为，确保生产安全、稳定及产品质量符合半导体、光伏等高端应用领域的严苛标准。本规程适用于公司内所有涉及电子特气合成反应、精馏提纯、吸附纯化、尾气处理及相关分析检测的作业活动。所有参与作业的人员（包括操作人员、维修人员、管理人员及技术人员）必须严格遵守本规程。

1.2工艺核心控制原则

电子特气合成与提纯作业的核心在于“极致纯度”与“绝对安全”。作业过程中必须严格控制水分（H2O）、氧气（O2）、尘埃粒子（Particles）及特定金属杂质含量，通常要求达到ppb（十亿分之一）甚至ppt（万亿分之一）级别。同时，鉴于部分电子特气具有剧毒、腐蚀性、易燃易爆或窒息等特性，必须实行全密闭、全自动化、负压运行及多重冗余的安全控制策略。

2.人员资质与防护要求

2.1人员基本资质

从事电子特气合成与提纯作业的人员必须具备以下条件：

（1）经过特种作业安全技术培训并取得相应资格证书，持有危险化学品安全作业操作证。

（2）接受公司内部专门的电子特气物化性质、工艺流程、应急处理等方面的专业培训，且考核合格，持证上岗。

（3）熟悉所在岗位的工艺设备、安全设施、消防器材及防护用品的性能和使用方法。

（4）身心健康，无妨碍从事本作业的生理缺陷或心理疾病。

2.2个人防护