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三门峡职业技术学院学报JOURNALOFSANMENXIAPOLYTECHNIC第24卷第3期

技术与应用

微纳3D打印技术在集成光子器件制备中的应用

◎郭琦

(河南科技大学应用工程学院，河南三门峡472000)

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摘要：将微纳3D打印技术引入集成光子器件（以热光开关为例）制备领域，通过创新工艺路线实现传统制

备流程的高效精简与优化。相较于传统工艺，该技术可显著提升器件制备效率；同时依托精密计算机控制

系统的精准调控，所制备器件波导结构的尺寸与设计理论值吻合度极高，关键参数误差可控制在5%以内。

微纳3D打印技术在集成光子器件制备中的突破性应用，将为集成光子器件的规模化制备提供有效技术路

径，有望为全光网络与光脑的创新发展提供关键助力，其发展前景极为广阔。

关键词：微纳3D打印技术；集成光子器件；热光开关；全光网络

中图分类号：TP391.73文献标识码：B文章编号：1671-9123（2025）03-0143-06

收稿日期：2025-04-09

基金项目：三门峡市科学发展计划项目（2024L03047)

作者简介：郭琦（1990一），男，河南三门峡人，河南