CN119542256A 晶粒的分离方法、扩膜治具及分离平台 （武汉新芯集成电路股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119542256A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202411629683.7

(22)申请日2024.11.14

(71)申请人武汉新芯集成电路股份有限公司

地址430205湖北省武汉市东湖开发区高

新四路18号

(72)发明人潘志刚石天福吴之焱

(74)专利代理机构深圳市威世博知识产权代理

事务所(普通合伙)44280

专利代理师黎坚怡

(51)Int.Cl.

H01L21/78(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书3页说明书13页附图4页