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- 2026-09-05 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119553251A
(43)申请公布日2025.03.04
(21)申请号202411617051.9C23C16/30(2006.01)
H01L21/762(2006.01)
(22)申请日2024.11.13
H01L21/02(2006.01)
(71)申请人中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限
公司
地址057550河北省邯郸市肥乡区化工工
业聚集区纬五路1号（经营场所:纬五
路1号、世纪大街6号）
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