CN119846854A 一种检测设备的调整方法 （苏州镁伽科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119846854A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202411943705.7

(22)申请日2024.12.26

(71)申请人苏州镁伽科技有限公司

地址215000江苏省苏州市中国（江苏）自

由贸易试验区苏州片区苏州工业园区玲珑街88号

(72)发明人夏磊

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师柳虹

(51)Int.Cl.

G02B27/62(2006.01)

G02B7/00(2021.01)

G02B21/06(2006.01)

F21V14/08(2006.01)

F21V17/02(2006.01)

F21V11/08(2006.01)

G01D11/00(2006.01)

G01D5/26(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图4页

(54)发明名称

一种检测设备的调整方法

(57)摘要

CN119846854A本申请提供一种检测设备的调整方法，检测设备从物方到像方依次包括物镜、分光镜、筒镜和探测器，还包括科勒照明模组；照明光束从科勒照明模组出射，经过分光镜传输到物镜，待测物设置在物镜的远离分光镜的一侧时，用于对将物镜中