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《集成电路用气体氟化氢》编制说明
（立项阶段□征求意见阶段?审查阶段□报批阶段□）
工作简况
根据集成电路材料和零部件产业创新联盟（ICMTIA）2026年度团体标准制修订计划安排，《集成电路用气体氟化氢》由福建德尔科技股份有限公司牵头起草，材料联盟归口管理，旨在填补国内高纯氟化氢气体专用标准空白。
牵头单位：福建德尔科技股份有限公司（负责标准草案编写与技术统筹）
参与单位：福建天甫电子材料有限公司（负责验证试验）、中船特气等（参与技术研讨与指标验证）
编制组由科研机构、行业骨干企业、检测机构的专业人员组成，具备扎实的理论
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