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- 2026-09-07 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119069410A
(43)申请公布日2024.12.03
(21)申请号202411578948.5
(22)申请日2024.11.07
(71)申请人烟台齐新半导体技术研究院有限公
司
地址264006山东省烟台市中国（山东）自
由贸易试验区烟台片区南昌大街6号
1#厂房
(72)发明人吕其祥马孝义
(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限
公司11227
专利代理师高琴
(51)Int.Cl.
H01L21/68(2006.01)
权利要求书1页说明书7页附图3页
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