GBT 47926-2026《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》标准立项发展报告.docx

GB/T47926-2026《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:TechnicalSpecificationforMagneticBearingCleanPumpsforSemiconductorApplications

摘要

半导体产业是国家基础性、先导性、战略性产业，其高质量发展高度依赖上游高端装备与核心零部件的自主可控。作为先进制程中气体输运、化学品传送及真空维持的关键设备，洁净泵的性能直接关系到晶圆制造的良率、效率与安全。传统机械轴承泵存在摩擦颗粒污染、润滑油挥发及维护频次高等固有缺陷，已难以匹配5nm及以下先进制程对超洁净环境的严苛需求。磁悬浮自轴承技术通过可控电磁力实现转子无接触悬浮与驱动，从根源上消除了机械磨损与颗粒产生源，是洁净流体输送领域的变革性技术方向。然而，我国该领域长期面临标准缺失、术语不统一、测试方法空白的困境，制约了技术迭代与产业规模化应用。在此背景下，GB/T47926-2026《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》正式立项并发布。本标准是我国首项针对半导体级磁悬浮泵的国家标准，系统规定了产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志包装及储运等内容。本报告的编制旨在系统梳理该标准的立项背景、研制过程、核心技术指标确定依据及其产业价值，为相