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附ESD内审抽样检查表

ESD内审检查表

ESD内审检查表REV：1.0审核员：日期：

序号

审核要点

审核证据

参考文件

符合性

备注

固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？

E3CR003ESD控制规范

生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出来，且粘贴ESD标签？

是否对每个工作站接地进行检查，并记录《ESD接地及表面电阻检测记录表》？记录保存年限：3年

是否对所有的防静电桌垫每周一次进行表面电阻检测，并作检测记录，对检测不符合要求的，是否用好的桌垫进行更换？

有无定期（每6个月）用表面电阻测试仪检测所有防静电周转箱、防静电托盘、防静电料盒的表面电阻，并将测试结果记录在M4FM123《检测记录表》中？

防静电地板是否干净且无破损，是否对其表面电阻每一季度检测一次，并记录《静电地板表面电阻检测记录表》？

是否每周一次使用已校准的静电场测试仪进行静电电压检测，并记录《静电电压测量记录》？

移动存储装置（周转推车、移动存储架、移动存储桌子等非固定装置）是否每周检测一次接地点及表面电阻值，并同时记录在M4FM386《ESD接地及表面电阻检测记录表》中？

是否对工厂总接地电阻进行测量，并记录在M4FM387《总接地电阻检