CN119124080A 螺旋式三维表面形貌测量方法及装置 （泰微科技(珠海)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119124080A

(43)申请公布日2024.12.13

(21)申请号202411594288.X

(22)申请日2024.11.09

(71)申请人泰微科技（珠海）有限公司

地址519000广东省珠海市香洲区福田路

10号厂房1一层-2、三层-2

(72)发明人黎雪峰何晓宇林东生

(74)专利代理机构广东非凡律师事务所44700

专利代理师王昕

(51)Int.Cl.

G01B21/20(2006.01)

G01B21/08(2006.01)

G01B5/00(2006.01)

权利要求书3页说明书8页附图3页