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物理学研究所物理实验员实习报告

一、摘要

2023年6月5日至8月22日，我在物理学研究所担任物理实验员实习生，负责半导体材料微观结构表征实验。通过操作场发射扫描电子显微镜（FESEM）和原子力显微镜（AFM），完成了15批次硅基样品的形貌与厚度测量，累计处理数据328组，平均厚度误差控制在±5纳米内。熟练运用MATLAB进行数据拟合，建立金相组织与电导率相关性模型，相关系数R2达0.89。掌握了高真空环境操作规范及SEM/AFM样品制备流程，优化了碳膜沉积工艺，使图像分辨率提升至2纳米。形成了一套基于能谱分析（EDS）的元素分布量化方法，可复用于同类材料的成分表征。

二、实习内容及过程

实习目的主要是了解研究所物理实验的实际操作流程，提升动手能力和数据分析水平。单位嘛，就是一家专门搞材料物理研究的机构，主要方向是半导体和新能源材料，设备挺先进的。

实习期间，核心工作围绕硅基薄膜材料的微观结构表征展开。6月10号到6月25号，我跟着导师熟悉了场发射扫描电子显微镜（FESEM）的操作，重点是学习如何调整加速电压和二次电子发射模式，以获取最佳的样品表面形貌图。记得第一次独立操作时，调出来的图像颗粒感太重，导师就让我反复调整束流大小和焦距，慢慢就找到了感觉。这个阶段还参与了原子力显微镜（AFM）的样品制备，包括离子溅射沉积碳膜，这个过程有点磨人，得严格控制沉积时间，我负责的批次中，有3个