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工艺与制造ProcessandFabrication

单晶外延片生产中的应急风险管理分析

冀大选，董兆清，丁成，冯啸桐

（天津中环领先材料技术有限公司，天津300384）

摘要：阐述单晶外延片制造企业的生产管理特点，提出完善单晶外延片制造企业生产设备中的安全装

置、建立完善良好的应急管理体系、完善监督管理机制的策略。

关键词：半导体制造，单晶外延片，应急管理体系。

中图分类号：TN40，F426.63文章编号：1674-2583(2023)10-0044-02

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2023.10.016

文献引用格式：冀大选，董兆清，丁成，冯啸桐.单晶外延片生产中的应急风险管理分析[J].集成电路应

用,2023,40(10):44-45.

AnalysisofEmergencyRiskManagementinthe

ProductionofSingleCrystalEpitaxialWafers

JIDaxuan,DONGZhaoqing,DINGCheng,FENGXiaotong

(TianjinZhonghuanLeadingMaterialsTechnologyCo.,Ltd.,Tianjin300384,China