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- 2026-09-10 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119354096A
(43)申请公布日2025.01.24
(21)申请号202411586276.2
(22)申请日2024.11.07
(71)申请人中国计量大学
地址310018浙江省杭州市中国计量大学
(72)发明人陈煜茗徐成罗晴博闫婷婷
刘昊昀康一明王自珉田俊豪
沈洋
(51)Int.Cl.
G01B11/24(2006.01)
G01B9/02055(2022.01)
权利要求书1页说明书3页附图2页
(54)发明名称
一种基于迈克尔逊干涉的微小器件形貌测
量校准方法
(57)摘要
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