CN119439601A 一种光罩及其制作方法 （合光光掩模科技(安徽)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119439601A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202411597029.2G03F1/54(2012.01)

(22)申请日2024.11.08

(71)申请人合光光掩模科技（安徽）有限公司

地址230601安徽省合肥市经济技术开发

区奔牛路100号

(72)发明人赵雪

(74)专利代理机构北京名华博信知识产权代理

有限公司11453

专利代理师朱影

(51)Int.Cl.

G03F1/00(2012.01)

G06F16/51(2019.01)

G06T7/00(2017.01)