CN119463975A 碳化硅晶片的复合清洗剂、清洗方法与清洗后碳化硅晶片 (江苏超芯星半导体有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-11 发布于重庆
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CN119463975A 碳化硅晶片的复合清洗剂、清洗方法与清洗后碳化硅晶片 (江苏超芯星半导体有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119463975A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411593241.1C11D3/39(2006.01)

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