SJT 12210-2026 电子级α-松油烯 标准立项发展报告.docx

电子级α-松油烯标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Electronic-Gradeα-Terpinene

摘要

随着集成电路制程不断向纳米级节点演进，光刻胶剥离、晶圆精密清洗等关键工艺对高纯化学试剂提出了严苛要求。α-松油烯作为一种天然单萜烯化合物，凭借优异的溶解性能、适中的挥发速率及良好的环境相容性，在半导体先进制造领域展现出显著的应用潜力。为规范电子级α-松油烯的产品质量，引导产业有序发展，工业和信息化部依据行业标准制修订程序立项制定SJ/T12210-2026《电子级α-松油烯》。本报告系统阐述了该标准的立项背景、国内外相关标