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•106•《测控技术》2017年第36卷第12期

基于差动电容传感器的微动定位系统设计

范贤光，阙靖，王昕，许英杰，吴腾达，陈军

(厦门大学航空航天学院，福建厦门361005)

摘要：设计并加工了一种结构简单、小巧的微动定位系统，该系统精度较高、扫描范围大且成本低廉。采

用簧片结构设计系统的机械结构，使用压电陶瓷作为执行器件，使用差动电容传感器作为位移反馈，实

现闭环控制，从而有效克服了压电陶瓷执行器件的迟滞和蠕变效应。介绍了微动定位系统的机械组成

和差动电容传感器信号检测电路的工作原理，并对系统进行了测试和标定实验。实验结果显示：该平台

能够实现15pm的扫描，精度约为15nm,且动态性能良好。