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流化床气相沉积反应器气体冷却装置.pdfVIP

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  • 2026-09-11 发布于北京
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流化床气相沉积反应器气体冷却装置.pdf

    21.申请号201620140257.1

    22.申请日2016.02.24

    (73)专利权人

    地址100084市海淀区园

    100084-82信箱

    (72)发明人

    (74)专利机构路浩有限

    公司11002

    人

    51.Int.CI.

    C23C16/442(

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