GBT 47749-2026 微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法 标准立项发展报告.docxVIP

微机电系统（MEMS）技术微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Micro-electromechanicalsystem(MEMS)technology—Testmethodforcoefficientoflinearthermalexpansionofmicro-electromechanicalsolid-statematerial

摘要

微机电系统（MEMS）技术作为先进制造业与现代传感技术融合的战略性前沿领域，在汽车电子、生物医疗、航空航天及5G/6G通信等领域得到广泛应用。随着MEMS器件向高精度、高集成度与高可靠性方向持续演进，其内部微米级固态构件因温度变化产生的热变形已成为影响器件性能稳定性和服役寿命的关键因素。然而，由于微尺度材料热物性参数测试涉及尺寸效应显著、测试环境敏感、试样制备困难等突出问题，国内外长期缺乏适用于微机电固态材料线性热膨胀系数测试的专项方法标准，导致产业界与检测机构在方法选择、数据处理和结果互认上存在显著壁垒。本报告针对标准GB/T47749-2026《微机电系统（MEMS）技术微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法》的立项背景、研制历程及技术内涵进行了系统梳理，重点阐述了基于非接触式光学测量原理的测试方法框架、微试样温度加