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CN119514357A 光刻模型建立方法、设备、存储介质及程序产品 （深圳晶源信息技术有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-09-12 发布于重庆
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CN119514357A 光刻模型建立方法、设备、存储介质及程序产品 （深圳晶源信息技术有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119514357A

    (43)申请公布日2025.02.25

    (21)申请号202411586599.1

    (22)申请日2024.11.07

    (71)申请人深圳晶源信息技术有限公司

    地址518000广东省深圳市福田区福保街

    道福保社区红棉街8号英达利科技数

    码园C栋401A

    (72)发明人江畅王航宇

    (74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理

    有限责任公司11258

    专利代理师赵秀芹

    (51)Int.Cl.

    G06F30/27(2020.01)

    G06N3/126(2023.01)

    权利要求

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