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- 2026-09-14 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119480669A
(43)申请公布日2025.02.18
(21)申请号202411594500.2G01N21/84(2006.01)
H01L21/306(2006.01)
(22)申请日2024.11.09
(71)申请人昆明物理研究所
地址650221云南省昆明市五华区教场东
路31号
(72)发明人段碧雯孔金丞江先燕宋林伟
褚德亮郑要争董卫民彭倩文
刘永传姜军
(74)专利代理机构昆明正原专利商标代理有限
公司5310
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