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- 2026-09-12 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120161677A
(43)申请公布日2025.06.17
(21)申请号202510231922.1
(22)申请日2025.02.28
(66)本国优先权数据
202411558404.22024.11.04CN
(71)申请人浙江大学
地址310058浙江省杭州市西湖区余杭塘
路866号
(72)发明人伍广朋张瑞生
(74)专利代理机构浙江得恒知识产权代理有限
公司33504
专利代理师赵芳
(51)Int.Cl.
G03F7/075(2006.01)
权利要求书7页说明书25页附图1
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