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2026年薄膜材料与技术实验操作考核试卷.pdf

2026年薄膜材料与技术实验操作技能考核试

考试时间:______分钟总分:______分姓名:______

处理请根据描述回答问题某实验需要使用磁控溅射仪沉积一层金属铜Cu薄膜请简述从真空腔体抽真空安装靶材设定溅射参数如功率时间基底温度到结束溅射并取出样品的主要操作步骤在操作过程中应注意哪些关键点以确保薄膜质量在使用原子力显微镜AFM对刚制备的薄

考生信息:

姓名:_______________________

学号:_______________________

班级:_______________________

一、简答题(请根据要求作答)

1.简述磁控溅射沉积薄膜的基本原理及其主要优点。

2.在使用旋涂法制备有机薄膜时,选择合适的溶剂和旋涂速度对薄膜厚度和

的工作原理并说明其适用于表征薄膜材料的哪些物理特性进行薄膜制备或表征实验前为何必须仔细阅读并严格遵守实验操作规程SOP列至少三种在薄膜材料与技术研究实验中可能遇到的安全风险并说明相应的预防措施二论述题设想一个实验方案用于制备一层厚度约为

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