集成电路EDA开发与应用：集成电路版图设计 课件 任务5.1电阻版图设计.pptxVIP

任务5.1电阻版图设计方块电阻、接触电阻、电阻版图设计集成电路版图设计WS

5.1.1方块电阻半导体材料的电阻值在温度一定的情况下，符合以下公式：R=ρL/(Wt)当材料横截面宽度W等于长度L，则上式可变为：此时的电阻称为方块电阻，符号为R?，单位为欧姆每方块，即Ω/?。对于给定的集成电路工艺，方块电阻不变，我们能改变的只有宽度和长度。电流流经电阻材料

方块电阻的测量方法：采用四探针测试方法对芯片上的正方形电阻器施加给定电流，并测试两端电压差四探针法测方块电阻示意图

5.1.2接触电阻两种不同材料接触将产生接触电阻：Rcontact=RC/WC其中，RC为接触电阻因子，单位为Ω·μm2。WC为接触区域的宽度。接触电阻由接触材料和工艺决定，其数值变化范围较大。在不忽略接触电阻的情况下，总的电阻阻值公式应为：Rtotal=R?·(L/W)+2(RC/WC)

5.1.3电阻版图常用形状（1）矩形电阻矩形电阻两端设置接触孔，通过接触孔实现与导电材料的连接，几乎所有的电流都经过这个接触孔内沿流过导体，后经另一个接触孔的内沿流出接触孔。因此，电阻的长度为这两个接触孔内沿的距离。矩形电阻版图

5.1.3电阻版图常用形状（2）折叠状电阻第二种电阻版图形状适用于大电阻，通常制成折叠状。图(a)通过金属导线连接形成电阻体串联来增加电阻值；图(b)则通过绘制弯曲的电阻