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洁净车间环境管控操作手册
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则与目的 3
二、车间环境基础概况 6
三、空气洁净度管控 8
四、温湿度环境管控 12
五、微振与噪声管控 15
六、尘埃与微粒管控 17
七、压差与气流组织管控 20
八、表面与附属设施管控 22
九、人员行为管控规范 25
十、物流与物料管控 27
十一、洁净区消毒灭菌 30
十二、设备运行维护管控 34
十三、巡检与监测记录 36
十四、异常状况处置措施 38
十五、安全与职业防护 41
十六、环境指标监控体系 44
十七、数据统计与分
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