CN119521829A 一种硅基产品及其氧化工艺 （三一硅能(株洲)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119521829A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202411591244.1

(22)申请日2024.11.08

(71)申请人三一硅能（株洲）有限公司

地址412005湖南省株洲市铜塘湾街道铜

霞路255号隆信国际1号栋518-50室

(72)发明人徐昆黄峰城季瑄陈安妮

(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理

有限公司11250

专利代理师廖慧敏

(51)Int.Cl.

H10F71/00(2025.01)

H10F10/10(2025.01)

H01L21/31(2006.01)

H01L21/3105(2006.01)