CN119526255A 一种研磨垫沟槽深度的检测方法 （星钥(珠海)半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119526255A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202411570961.6G01B21/18(2006.01)

(22)申请日2024.11.05

(71)申请人星钥（珠海）半导体有限公司

地址519000广东省珠海市高新区唐家湾

镇湾创路58号5层505室

(72)发明人陈婷

(74)专利代理机构珠海智专专利商标代理有限

公司44262

专利代理师陈美因

(51)Int.Cl.

B24B37/005(2012.01)

B24B37/04(2012.01)

B24B37/34(2012.0