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CN119480666A 一种晶圆的检测数据分析方法、装置、设备、介质及产品 （东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-09-15 发布于重庆
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CN119480666A 一种晶圆的检测数据分析方法、装置、设备、介质及产品 （东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119480666A

    (43)申请公布日2025.02.18

    (21)申请号202411552339.2

    (22)申请日2024.11.01

    (71)申请人东方晶源微电子科技（北京）股份有

    限公司

    地址100176北京市大兴区北京经济技术

    开发区经海四路156号院12号楼

    (72)发明人王建存张岩鄢昌莲宋红敏

    (74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理

    有限责任公司11258

    专利代理师杨永恒

    (51)Int.Cl.

    H01L21/66(2006.01)

    权利要求书2页说明书9页附图3页

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