GBT 47767-2026 微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法.pptxVIP

GB/T47767-2026微机电系统(MEMS)技术压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法

目录02测试原理01标准概述03测试设备与设置04测试步骤05数据处理与分析06结果与验证

标准概述01

标准背景与目的随着MEMS技术在传感器、执行器等领域的广泛应用，压电微悬臂梁作为核心器件，其机电转换特性的测试缺乏统一标准，导致不同机构数据可比性差。GB/T47767-2026的制定旨在解决这一关键技术瓶颈，通过规范测试方法提升产业协同效率。技术瓶颈突破该标准修改采用国际标准IEC62047-42:2023，由全国微机电技术标准化技术委员会（TC336）归口管理，推动我国MEMS技术与国际