ISO 21360-52023 真空技术测量真空泵性能的标准方法第5部分非蒸发吸气剂（NEG）真空泵标准立项发展报告.docx

真空技术测量真空泵性能的标准方法第5部分：非蒸发吸气剂（NEG）真空泵标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:VacuumTechnology—StandardMethodsforMeasuringVacuum-PumpPerformance—Part5:Non-EvaporableGetter(NEG)VacuumPumps

摘要

关键词：真空技术；非蒸发吸气剂；真空泵；性能测量；国际标准；抽速测试

一、标准立项背景与战略意义

1.1行业需求驱动标准立项

非蒸发吸气剂（Non-EvaporableGett