XB-T 525-2026高纯金属镱靶材.pptxVIP

XB-T525-2026高纯金属镱靶材

目录

02

技术要求

01

标准概述

03

测试方法

04

质量控制

05

应用指南

06

符合性管理

标准概述

01

制定背景与目的

国际竞争对标

通过建立与SEMI、ASTM等国际标准接轨的规范体系，提升国产高纯金属镱靶材在全球产业链中的竞争力。

行业痛点解决

针对市场上存在的纯度不达标（部分产品仅99.9%）、批次稳定性差等问题，该标准明确99.99%纯度门槛及偏差范围，规范生产工艺流程。

技术升级需求

随着OLED显示技术向折叠屏、车载显示等高端场景拓展，传统金属镱靶材的纯度与一致性已无法满足新型器件要求，需通过标准化推动产业升级。

适用范围与