CN119419166A 一种晶圆清洗机及晶圆清洗方法 （创微微电子(常州)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119419166A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202411552494.4

(22)申请日2024.11.01

(71)申请人创微微电子（常州）有限公司

地址213133江苏省常州市新北区黄河西

路790号

(72)发明人左国军蔡嘉雄黄海祥王雷雷

(74)专利代理机构深圳市康弘知识产权代理有

限公司44247

专利代理师刘方超

(51)Int.Cl.

H01L21/687(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

B08B13/00(2006.01)

B08B17/02(2006.01)