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晶圆缺陷检测2.0时代：从人工目检到AI自主决策的跃迁
TOC\o1-3\h\z\u12810晶圆缺陷检测2.0时代：从人工目检到AI自主决策的跃迁 3
15173一、行业背景与痛点分析 3
215731.1传统人工目检模式的局限性 3
104031.2半导体制造对良率控制的迫切需求 5
21790二、技术演进：从自动化到智能化 6
317082.1光学检测技术的迭代历程 6
185002.2AI算法在缺陷识别中的核心突破 8
4503三、AI自主决策系统架构设计 9
63153.1多模态数据融合与预处理
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