《传感器》_任务三 压阻式压力传感器压力测量.docVIP

任务三压阻式压力传感器压力测量

任务目标

了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理。

了解绝对压力、相对压力的概念。

知道扩散硅压阻式压力传感器测量压力的方法。

预备知识

1.压阻式压力传感器的材料主要是。

A金属材料B半导体材料

2.什么是压阻效应？它和应变效应有何不同？

压阻式压力传感器压力测量

实验原理

请写出本训练中压阻式压力传感器的工作原理及特点。

实验步骤（实验电路及模块见图4-4-1所示）

图4-4-1

1．扩散硅压力传感器MPX10已安装在压力传感器模块上，将气室1、2的活塞退到20ml处，并按教材P90图1-4-16接好气路系统。其中P1端为正压力输入、P2端为负压力输入，PX10有4个引出脚，1脚接地、2脚为Uo+、3脚接+5V电源、4脚为Uo-；当P1P2时，输出为正；P1P2时，输出为负。

2．检查气路系统。

问题1：若推进活塞1或2，对应的气压表应。

3．接入+5V、±15V直流稳压电源，模块输出端Vo2接控制台上数显直流电压表，选择20V档，打开实验台总电源。

问题2：请在图4-4-1中画出接线图。

4．用导线将差动放大器的输入端Ui短路，然后调节使直流电压表显示为零。

问题3：输入端Ui短路，则Ui=，Uo2=