ISO 181142021 表面化学分析 - 二次离子质谱法 - 离子注入参考物质的相对敏感性因子的测定标准立项发展报告.docx

表面化学分析—二次离子质谱法—离子注入参考物质的相对敏感性因子的测定标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Surfacechemicalanalysis—Secondary-ionmassspectrometry—Determinationofrelativesensitivityfactorsfromion-implantedreferencematerials

摘要

表面化学分析是现代材料科学、半导体工业及纳米技术研究不可或缺的核心技术手段。二次离子质谱法（SIMS）凭借其极高的元素灵敏度（ppm