CN119061471A 一种用于外延预清洁腔室的预处理方法 (中微半导体(上海)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-19 发布于重庆
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CN119061471A 一种用于外延预清洁腔室的预处理方法 (中微半导体(上海)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119061471A

(43)申请公布日2024.12.03

(21)申请号202411557566.4

(22)申请日2024.11.01

(71)申请人中微半导体(上海)有限公司

地址201309上海市浦东新区自由贸易试

验区临港新片区江山路4168号

(72)发明人王宝赋刘柱晗张凯

(74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限

公司31323

专利代理师贾慧琴张静洁

(51)Int.Cl.

C30B25/08(2006.01)

C30B25/18(2006.01)

权利要求书1页说明书8页附图2页

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