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半导体洁净间准入规范.docx

半导体洁净间准入规范.docx

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    半导体洁净间准入规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、洁净间准入规范总则与适用范围 2

    二、洁净间等级划分与技术标准 3

    三、人员准入资质要求与岗位培训 7

    四、人员健康体检与职业健康防护 9

    五、洁净服穿戴规范与维护流程 12

    六、人员出入淋洗程序与消毒标准 15

    七、设备进入准入净化与验证规范 18

    八、物料准入预处理与包装要求 21

    九、化学品与危险品准入管理制度 23

    十、洁净间内部行为准则与纪要求 26

    十一、生产区域洁净度实时监控标准 29

    十二、洁净间环境参数监测与预警 32

    十三、空气过滤系统与微粒浓度

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