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半导体芯片生产厂房节能建设设计方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、半导体芯片生产厂房节能设计总体目标与原则 4
二、厂房建筑布局优化与围护结构节能设计 6
三、洁净室高效空气动力与空调节能技术应用 8
四、机房精密空调系统节能余热回收设计 11
五、工艺冷却水系统节能降耗与循环利用方案 16
六、工业用电系统高效传输与分配优化设计 18
七、高压配电与变电站节能技术研究 21
八、动力设备变频控制与高效电机选用方案 24
九、生产照明系统智能化控制与感应节能设计 28
十、特种气体供应系统能耗监测与管控措施 30
十一、
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