真空镀膜操作规程详解与实操指南.pdfVIP

真空镀膜操作规程

运转正常后打开维持阀灯亮逐一打开扩散泵低抽确认真空室门已关闭启动计算机进入镀膜系统监控程序充气阀关闭启动机械泵确认机械泵正常运行后开预抽阀五分钟后打开复合真空计打开罗茨泵开关当真空达到Pa时罗茨泵允许信号灯红灯亮再延迟秒后罗茨泵自动启动高抽

一、准备：

1、开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正常：370

—440V；

2、开启电容补偿器；

3、确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵；

4、根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台

冷水机；启动前应确认冷水机入口水压-3kg，内部增压泵

真空镀膜操作规程一准备开启设备总电源稳压器确认三相供电电压正常V开启电容补偿器确认水池冷却水水量充足见浮标尺打开循环水泵根据工艺要求确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机启动前应确认冷水机入口水压kg内部增压泵旋转正常可采用自动或手动方式

旋转正常，可采用自动或手动方式启动；

5、确认各部分冷却水循环系统完好，确认扩散泵循环水工