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半导体芯片生产能源数据治理规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、半导体芯片生产能源数据治理总则 4
二、能源数据治理范围与业务边界 6
三、半导体能源数据采集标准与接口规范 9
四、生产工艺设备能耗数据采集规范 12
五、洁净室环境控制能源数据采集规范 14
六、动力及公用设施能源数据统计标准 17
七、水处理与废气处理能源监测规范 19
八、能源数据质量评价与质量控制体系 23
九、能源基础数据清洗与异常值处理规范 27
十、能源数据元数据管理与统一定义规范 30
十一、半导体能源数据架构与建模规范 33
十二、芯片
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