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半导体工艺氧化技术及Deal-Grove模型.pdfVIP

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  • 2026-09-21 发布于北京
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半导体工艺氧化技术及Deal-Grove模型.pdf

    EEE

    533：器件与工艺仿真

    2001年春季

    Silvaco

    ATHENA工具简介及工艺建模基础概念

    第三部分

    授课：德拉吉察·瓦西列斯卡

    Department

    of

    Electrical

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    Arizona

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    Spring2001

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