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半导体芯片生产能源系统建设规范.docx

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    半导体芯片生产能源系统建设规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、半导体芯片生产能源系统建设总则 3

    二、能源需求规划与选址设计规范 5

    三、高可靠性电力配电系统建设规范 7

    四、精密用电电源与UPS系统技术标准 11

    五、工艺冷却水供水系统建设规范 14

    六、工业用水处理与中水回用规范 17

    七、特种气体输配与处理能源规范 21

    八、真空系统与压缩空气动力管理规范 25

    九、清洁能源接入与分布式光伏集成规范 28

    十、余热回收与热能利用技术规范 30

    十一、工业储能与储热设施建设规范 35

    十二、能源计量监测与数据采集系统

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