原创力文档《半导体制造用高精度质量流量控
制器技术规范》编制说明
中国电子装备技术开发协会
2026年8月
一、任务来源，起草单位，协作单位，主要起草人
（一）任务来源
半导体产业是支撑经济社会发展、保障国家安全的战略性、基础
性和先导性产业。质量流量控制器（MFC）作为晶圆制造工艺气体输
送系统的核心计量与控制部件，直接决定了刻蚀、薄膜沉积、扩散、
离子注入等关键工艺环节的气体配比精度与工艺重复性，其性能水平
与芯片良率、产品一致性密切相关。随着我国集成电路产
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