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超纯水设备日常点检表

设备基础信息登记栏

设备编号：___________设备额定产水量：______m3/h装机日期：______年______月______日所属产线：___________

原水进水设计指标：TDS≤300mg/L、浊度≤5NTU、余氯≤0.3mg/L、进水压力0.2-0.4MPa、水温15-35℃

产水额定指标：电阻率≥18.2MΩ·cm（25℃）、TOC≤5ppb、颗粒度≥0.1μm≤1个/mL、微生物≤1CFU/1000mL、内毒素≤0.03EU/mL

点检责任体系：主班操作工、运维工程师、设备主管、质量验证专员四级点检签字确认，所有点检记录归档保存期限不少于5年，无特殊审批不得擅自销毁。

第一部分每日三班巡回点检表

执行要求：每2小时开展1次巡回点检，8小时标准班次内完成4次全覆盖检查，全天12次点检覆盖0-24h全运行工况，所有点检项现场实时填报，禁止事后补录。

序号

点检工段

点检部位

点检内容

点检标准

点检方法

点检工具

异常阈值

现场应急处置流程

点检人签字

1

原水预处理段

原水箱

液位状态

就地机械液位计显示液位保持在20%-90%区间，无空吸、溢流风险，DCS远传液位与就地液位偏差≤±3%

目视对照就地液位刻度盘，联动校验中控端远传数据同步性

目视、便携式数字液位仪

液位＜15%或＞95%，两地液位偏差＞±5%

5分钟内核