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SEMIE84-2023中文版增强型载具交接并行输入输出接口规范

SEMIE84-2023《增强型载具交接并行输入输出接口规范（EnhancedCarrierHandoffParallelI/OInterface）》是全球300mm先进晶圆厂、功率器件、高端先进封装产线AMHS自动物料传输系统与设备LoadPort端口物理交接、信号握手、时序协同、异常容错的底层硬件接口权威标准，由国际半导体设备与材料协会（SEMI）完成2023年度正式迭代更新，全面替代旧版E84标准，成为当前半导体智能无人化产线载具自动交接的唯一通用硬件接口基准。区别于SEMIE87载具状态管理的上层软件协议，SEMIE84属于底层物理并行I/O（PIO）硬件握手专项规范，聚焦OHT空中搬运、AGV地面搬运、AMR自主搬运等主动传输设备与机台LoadPort被动端口之间的物理信号交互，定义标准化硬件接口、信号定义、交接时序、握手逻辑、容错机制、物理安装规范与异常恢复流程，是半导体自动化物料流转的物理层核心基石。

半导体300mm无人化量产产线的自动化闭环，完全依赖E84硬件握手+E87软件管控的软硬协同体系支撑。SEMIE87负责MES、设备、AMHS之间的软件状态同步、批次校验、权限管控，而SEMIE84承担载具物理交接的最后一米安全与可靠，直接管控FOUP/FOSB载具抓取、对