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低温泵运行维护作业指引

第一章低温泵概述与基本原理

低温泵是一种利用低温表面冷凝和吸附气体分子，从而获得并维持高真空或超高真空环境的设备。其核心在于创造并维持一个极低温的界面，使得气体分子在碰撞到该表面时失去动能，被牢固地捕获。与依靠机械运动或高速气流的传统真空泵相比，低温泵在洁净度、极限真空度、抽速（特别是对水蒸气、氢气等气体）以及无振动、低噪音方面具有显著优势，广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、高能物理、空间模拟、表面分析等尖端科技领域。

其工作原理主要基于两种物理机制：

1.低温冷凝：对于氮气、氧气、氩气、水蒸气等沸点较高的气体，当其分压高于低温表面温度所对应的饱和蒸气压时，气体会在低温