缓冲氧化物腐蚀剂（BOE）：先进制造扩产驱动高纯湿法蚀刻材料进入新一轮增长.pdfVIP

LPInformation｜全球行业调研报告

LPInformation（路亿市场策略）近期推出《全球缓冲氧化物腐蚀剂（BOE）市场增长趋势2026-2032》，

围绕缓冲氧化物腐蚀剂的产品定义、配方体系、市场规模、竞争格局、应用场景、区域结构和产业链变化展

开研究。本文重点关注BOE在集成电路、太阳能电池、显示器面板及其他微电子制造场景中的需求变化、

技术演进和供应链机会。

1缓冲氧化物腐蚀剂（BOE）概述

缓冲氧化物腐蚀剂（BOE）是用于湿法蚀刻二氧化硅及相关氧化物薄膜的高纯度电子化学材料，通常由电子

级氟化铵、氢氟酸和超纯水按特定比例配制，并可根据工艺要求加入表面活性剂、润湿剂或功能性添加剂。

缓冲体系能够在蚀刻过程中维持相对稳定的活性氟离子浓度，使材料兼具可控蚀刻速率、较好的均匀性、工

艺重复性和批次稳定性。

BOE的核心功能包括去除硅片表面的天然氧化层或工艺氧化层、形成接触孔和局部开口、开展扩散前与金

属化前表面处理，以及完成牺牲氧化层释放和特定结构清洗。其主要应用于集成电路晶圆制造、MEMS器

件、分立器件、太阳能电池、TFT及显示器面板、传感器和科研微纳加工。本研究对象主要覆盖以标准比例

或定制比例供应、用于电子制造湿