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HG/T4559-2013超净高纯硫酸

ICS71.060.30

G11

备案号：41669-2013

中华人民共和国化工行业标准

HG/T4559-2013

超净高纯硫酸

Ultracleanandhighpuritysulfuricacid

2013-10-17发布

2014-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

前言

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

本标准由中国石油和化学工业联合会提出。

本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分技术委员会（SAC/TC63/SC1）归口。

本标准主要起草单位：江阴江化微电子材料股份有限公司、浙江巨化股份有限公司、中海油天津化工研究设计院。

本标准主要起草人：殷福华、周明、陈建华、郭永欣、李霞。

本标准为首次发布。

1范围

本标准规定了超净高纯硫酸的分型、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全。

本标准适用于以工业硫酸为原料，经提纯、过滤等工艺制得的超净高纯硫酸。该产品主要用于半导体、微电子、液晶显示等电子行业的芯片清洗、蚀刻等工艺领域。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有修改单）适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T