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洁净车间环境参数管控规范.docx

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    洁净车间环境参数管控规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、场地要求 6

    三、温湿度管控 9

    四、压强控制 11

    五、微粒管理 12

    六、生物管控 14

    七、检测标准 16

    八、数据管理 20

    九、应急处理 23

    十、日常监测 26

    十一、人员规范 29

    十二、设施配置 31

    十三、记录管理 34

    十四、审核要求 37

    十五、维护机制 40

    十六、校验流程 43

    十七、质量评价 45

    十八、异常情况 47

    十九、操作规程 49

    二十、执行细则 53

    二十一、合规保障 5

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