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- 2026-09-28 发布于北京
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气体分析动态法制备校准用混合气体第7部分:热式质量流量控制器标准立项发展报告
EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Gasanalysis—Preparationofcalibrationgasmixturesusingdynamicmethods—Part7:Thermalmass-flowcontrollers
摘要
随着我国工业气体、环境监测、石油化工及半导体制造等领域的快速发展,对校准用混合气体制备的准确度与可靠性提出了更高要求。动态法作为制备校准用混合气体的核心技术路径,其关键部件——热式质量流量控制器的性能直接决定了混合气体的不确定度水平。本标准为GB/T5275系列的第7部分,等同采用国际标准ISO6145-7,规定了热式质量流量控制器在动态法制备校准用混合气体中的技术要求、校准方法、使用条件及不确定度评估原则。本报告系统梳理了该标准的立项背景、编制过程、技术框架与核心内容,分析了其与现行法规及上下游标准的协调关系,并结合我国标准化战略与产业需求,展望了标准的实施效应与未来修订方向。报告的结论可为气体分析仪器制造商、校准实验室、计量技术机构及行业管理部门提供技术参考与决策支撑。
关键词:气体分析;动态法;校准用混合气体;热式质量流量控制器;标准立项;不确定度;G
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